激光诱导光学薄膜损伤的机理研究属于激光与物质相互作用的范畴。从经典的概念出发，高功率激光与光学介质相互作用的物理过程主要可归纳为：介质吸收入射激光能量的热效应和入射激光诱导的场效应，现在一般的理论认为连续激光以及脉宽在微秒量级的脉冲，激光诱导光学薄膜损伤的物理机制主要是热效应，在这种情况下，光学介质吸收入射激光能量，使膜层温度升高以至熔融断裂，导致光学介质的永久性破坏。
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